Firxa tal-Ivvjaġġar
20mm
Riżoluzzjoni
0.125μm
Ripetibbiltà
＜1μm
Straightness
＜2μm
Paralleliżmu
＜5μm
Pitching
10″（50μrad）
Jawring
Veloċità Massima
5mm/sek
Kapaċità tat-Tagħbija
10kg
Piż
1.5kg
